发布日期：2019-12-27
随着经济的发展和社会生活水平的提高,真空镀膜技术在越来越多的领域使用,如何监控淀积的膜厚,目前采用石英晶振监控法和光学膜厚监控法,经多年来致力于石英晶体振荡监控法的核心部件晶振片研究、生产,并总结了一些经验与同仁共同控讨。
原理
石英晶振法监控膜厚,主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度增加,则晶振片的固有频率会相应的变化。
显然晶体的基频越高,控制的灵敏度也越髙,但基频过髙时,晶体片会儆得很薄,很薄的晶体片易碎,一般选用AT切型频率5~10MHz。采用AT切晶体片,其振动频率对质量的变化极其灵敏,但却不敏感于温度的变化,具有精度高、灵敏度好等独特的优势,非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。
电极材料
晶振片的电极对膜厚监控至关重要,目前市场上提供三种标准电极材料:金、银和合金用户所镀的材料不同,需选用不同的电极材料产品。
金:是最广泛使用的传统材料,它具有低接触电阻,高化学温定性,易于沉积。适合于镀低应力膜料,如镀Al、Au、Ag、Cu等。
银:适合于镀高应力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。
银铝合金:适合于镀介质光学膜,MgF2、Si02、Al203、TiO2等膜料。
为了提高石英晶振的稳定性,增加电极膜与石英晶片的附着强度,根据经验总结在镀电极(Cr)效果更好。
又硏制出金银合金电极膜代替镀金电极膜,验证结果在使用性能不变的情况下比金电极膜使用寿命更长。